Tenké vrstvy připravujeme pomocí magnetronového naprašování na komerční naprašovačce LEYBOLD-HERAEUS Z 550. Toto zařízení umožňuje produkovat malé série nebo jednotlivé kusy s maximálním průměrem 100 mm a tloušťkou 20 mm. Naprašovačka je vybavena třemi magnetrony s průměrem terče 152 mm (typická tloušťka terče je 6 mm) pro naprašování až tří různých materiálů během jednoho vakuového cyklu.
Tenké vrstvy
Účast na 52. Mezinárodním strojírenském veletrhu MSV 2010 Brno
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. bude ve dnech 13. až 17. září 2010 vystavovat na 52. mezinárodním strojírenském veletrhu v Brně – PAV A1 023. Skupina Speciální technologie se bude prezentovat elektronovou svářečkou MEBW-60/2-E v provozu, expozicí příkladů svarů vyrobených elektronovou svářečkou, vakuovými průchodkami a vzorky nanovrstev a RTG optiky.
Multivrstvy pro rentgenovou optiku
Deponujeme multivrstvové molybden/křemíkové systémy, které mohou být požity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Maximální hodnoty odrazivosti dosahují až 70 % pro kolmý dopad.
Dynamické rázové testování tenkých vrstev
V současné době jsme jedním ze dvou pracovišť v Česku, které nabízí charakterizaci tvrdých otěruvzdorných povlaků dynamickým rázovým testerem.
Pro charakterizaci odolnosti tvrdých otěruvzdorných nanokompozitových a multivrstvových povlaků a monovrstev, určených pro dynamická zatížení, používáme dynamický rázový test. Rázové testování povlaků bylo navrženo Knotkem a kol. v roce 1990. Během testování je povrch vzorku cyklicky zatěžován wolfram-karbidovou kuličkou. Tento test simuluje širokou škálu tribologických systémů.
Depozice a testování tenkých vrstev
Tenké vrstvy připravujeme pomocí magnetronového naprašování na komerční naprašovačce LEYBOLD-HERAEUS Z 550. Může být naprašován jakýkoliv materiál, ze kterého je možné vyrobit terč s výše uvedenými rozměry. Rozmezí tlouštěk deponovaných vrstev je od jednotek nanometrů po jednotky mikrometrů. Jsme schopni deponovat i multivrstvy, např. multivrstvové molybden/křemíkové systémy, které mohou být použity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Pro charakterizaci odolnosti tvrdých otěruvzdorných nanokompozitových a multivrstvových povlaků a monovrstev, určených pro dynamická zatížení, používáme dynamický rázový test.
