Published on Special technologies (http://ebt.isibrno.cz)

Home > Biblio > Printer-friendly

Metody elektronové optiky pro elektronovou litografii

TitleMetody elektronové optiky pro elektronovou litografii
Publication TypeThesis
Year of Publication1988
AuthorsLencová, B. [1]
UniversityÚstav přístrojové techniky čSAV Brno
CityBrno
Thesis Typephd
Copyright © 2011 Institute of Scientific Instruments AS CR, v. v. i.
Source URL: http://ebt.isibrno.cz/en/biblio/metody-elektronove-optiky-pro-elektronovou-litografii

Links:
[1] http://ebt.isibrno.cz/en/biblio/author/63