Title | Mikroobrábění elektronovým svazkem |
Publication Type | Conference Paper |
Year of Publication | 2002 |
Authors | Zobač, M. |
Secondary Authors | Müllerová, I. |
Conference Name | PDS 2002 Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika |
Publisher | ÚPT AV ČR |
Conference Location | Brno |
ISBN Number | 80-239-9915-5 |