%0 Conference Paper
%B PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky
%D 2004
%T Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 vyużitím reżimu REM
%A Lukáš Daněk
%E I. Müllerová
%C Brno
%I ÚPT AV ČR
%@ 80-239-2268-8