%0 Conference Paper %B PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky %D 2004 %T Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 vyużitím reżimu REM %A Lukáš Daněk %E I. Müllerová %C Brno %I ÚPT AV ČR %@ 80-239-2268-8